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@新华视点新闻,中国电子科技团体有限公司17日对外宣布,该团体旗下装备子团体攻克系列“卡脖子”手艺,已乐成实现离子注入机全谱系产物国产化,包罗中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机,工艺段笼罩至28nm,为我国芯片制造产业链补上主要一环,为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案。

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原题目:芯片制造要害装备再突破!离子注入机实现全谱系产物国产化


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